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白光干涉三维形貌仪

型号:SmartWLI系列
由德国WinWinTec公司设计制造

白光干涉,作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术,其纵向分辨率可达到亚纳米级别。视场内信息采集与数据处理同时进行,大面积区域的高度信息采集时间短。多用于科学研究与质量管理领域,典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量(如晶片结构、镜面、玻璃与金属)、台阶高度测定和曲面精度测量(如微型透镜)。 SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术,自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。其核心算法基于GBS长期研发与测量经验,具备高效、稳定、精度高等特点。

其技术优势:

- 非接触

- 纳米级精度

 - 测量时间短

- 性能可靠